[发明专利]一种用于氮化铝单晶生长的多段式坩埚装置

摘要

本发明公开了一种用于氮化铝单晶生长的多段式坩埚装置，设于支撑平台上，包括坩埚本体、坩埚盖、至少一个可拆卸的设于坩埚本体和坩埚盖之间的坩埚套筒，坩埚套筒包括套筒本体、连接在套筒本体上端的用于固定坩埚盖的第一连接部、连接在套筒本体下端的用于固定坩埚本体的第二连接部；当坩埚套筒至少有两个时，上部的坩埚套筒的第二连接部固定在下部的坩埚套筒的第一连接部上。本发明装置可根据实际长晶的需要灵活调整坩埚的高度，为长时间的长晶过程提供稳定、持续的物质流供应。坩埚采用多段式可拆卸结构设计，当长时间长晶完成后，可以通过拆卸坩埚下部的坩埚套筒来保证长晶完成后坩埚的正常开启、晶体的完整取出及坩埚的重复利用。

主权项

一种用于氮化铝单晶生长的多段式坩埚装置，设于支撑平台上，其特征在于：包括用于放置氮化铝粉源或氮化铝烧结体的坩埚本体、盖设于所述坩埚本体顶部的坩埚盖、至少一个可拆卸的设于所述坩埚本体和所述坩埚盖之间的坩埚套筒，所述坩埚套筒包括套筒本体、连接在所述套筒本体上端的用于将所述套筒本体固定在所述坩埚盖上的第一连接部、连接在所述套筒本体下端的用于将所述套筒本体固定在所述坩埚本体上的第二连接部；当所述坩埚套筒至少有两个时，上部的所述坩埚套筒的所述第二连接部固定在下部的所述坩埚套筒的所述第一连接部上。