[发明专利]叠对监测及控制方法在审
| 申请号： | 201710984884.2 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN108227394A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 胡维民;张仰宏;陈开雄;胡浚明;柯志明 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本公开提供一种叠对监测及控制方法，包括通过一图案化机台以图案化一基板、从基板上的多个场域收集多个叠对误差、通过应用第一过滤操作及不同于第一过滤操作的第二过滤操作从多个叠对误差识别噪声。上述方法进一步包括将未被识别为噪声的多个叠对误差分类为一过滤后的叠对误差集合。基于过滤后的叠对误差集合计算一叠对补偿，并且根据此叠对补偿执行一补偿程序到图案化机台。本公开提供一种叠对监测及控制方法可达到全映射(full mapping)及场域内高阶程序校正，而不需减少光刻曝光制程的生产率，亦提供动态前馈的控制以减少叠对误差，提升晶圆与晶圆以及批次与批次间的叠对品质。 | ||
| 搜索关键词： | 过滤操作 图案化 机台 叠对补偿 误差集合 场域 基板 晶圆 监测 噪声 过滤 补偿程序 程序校正 动态前馈 光刻曝光 误差分类 误差识别 映射 高阶 制程 应用 | ||
【主权项】：
1.一种叠对监测及控制方法，包括：通过一图案化机台，图案化一基板；从上述基板上的多个场域，收集多个叠对误差；从上述叠对误差识别噪声，其中上述识别噪声的步骤包括应用一第一过滤操作以及不同于上述第一过滤操作的一第二过滤操作；分类未被识别为噪声的上述叠对误差到一过滤后的叠对误差集合；基于上述过滤后的叠对误差集合，计算一叠对补偿；以及依据上述叠对补偿，对上述图案化机台执行一补偿程序。
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