[发明专利]一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置

摘要

本发明公开了一种基于MEMS超声换能器阵列的海洋水下镜头在线实时超声清洗装置。超声清洗装置采用尺寸小、耗能低以及易集成的MEMS超声换能器阵列，可以在环形基座上均匀圆周布置多个超声换能器阵列模块，换能器阵列模块中的每一个换能器单元都能独立工作，可以实现对海洋水下镜头进行在线实时或者定时清洗，而且可以根据实际情况控制超声换能器阵列中任意换能器单元的工作状态和换能器阵列模块的工作个数，从而改变超声清洗的辐射面，高效清洗的同时还能节省能耗。

主权项

一种基于MEMS超声换能器阵列的水下镜头在线实时超声清洗装置，其特征在于，包括环形基座(1)、MEMS超声换能器阵列模块(2)、盖板(3)、环形密封盖(4)以及控制驱动电路模块(5)，环形基座(1)用于将清洗装置固定在水下监视设备镜头上；环形基座(1)周向开设有若干个通孔，通孔中安装有MEMS超声换能器阵列模块(2)，MEMS超声换能器阵列模块(2)中集成有呈阵列形式排布的MEMS超声换能器，MEMS超声换能器的声辐射方向朝向待清洗镜头；所述的通孔位于环形基座(1)外表面一侧通过盖板(3)进行固定密封；环形基座(1)周向的通孔外部环绕固定有环形密封盖(4)，用于对通孔进行二次防水密封；MEMS超声换能器阵列模块(2)与控制驱动电路模块(5)相连，MEMS超声换能器阵列模块(2)集成于环形基座上。