[发明专利]微发光二极管的生长和转运设备及转运方法有效
| 申请号： | 201710986144.2 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107644927B | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 高超民;丁渊;李飞 | 申请（专利权）人： | 上海天马微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00 |
| 代理公司： | 11444 北京汇思诚业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王刚;龚敏 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请涉及显示技术领域，尤其涉及一种微发光二极管的生长和转运设备，包括生长基底、多个微发光二极管、保护层、转运基底以及拾取层，多个微发光二极管中，一部分所述微发光二极管为待转运部分，其余部分为非转运部分；所述保护层覆盖所述非转运部分；所述拾取层设置于所述转运基底的一侧的整面，所述拾取层至少具有垂直于所述转运基底的方向的弹性力，所述拾取层具有拾取所述待转运部分的拾取力。本申请能够适应不同阵列排布的待转运的微发光二极管，从而节省了生长和转运设备的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 发光二极管 生长 转运 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微发光二极管的生长和转运设备，其特征在于，包括：/n生长基底，/n多个微发光二极管，其中，一部分所述微发光二极管为待转运部分，其余部分为非转运部分；/n保护层，所述保护层覆盖所述非转运部分；/n转运基底，/n拾取层，设置于所述转运基底的一侧的整面，所述拾取层至少具有垂直于所述转运基底的方向的弹性力，所述拾取层具有拾取所述待转运部分的拾取力；/n各所述微发光二极管包括本体和连接部，所述本体通过所述连接部形成于所述生长基底的一侧，且沿垂直于所述生长基底的方向，各所述本体与所述生长基底之间留有间隙；/n还包括支撑层，所述支撑层填充所述非转运部分中的所述本体与所述生长基底之间的所述间隙；其中，所述保护层的材质为光刻胶，所述支撑层的材质为金属。/n
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