[发明专利]用于在检查对象时自适应采样的方法和其系统

摘要

检查对象，包括：接收潜在缺陷，每个潜在缺陷与位置相关联；执行潜在缺陷的第一聚类以获得第一子集和第二子集，聚类被执行以使得第一子集中的潜在缺陷在物理区域中比第二子集中的潜在缺陷更加密集；将第一有效概率自动分配给第一子集和第二子集中的潜在缺陷；根据第三方针并且根据用于组合来自所述合并列表的最高元素和随机选择元素的策略来进行选择以审查来自第一子集和第二子集的潜在缺陷；在审查审查的潜在缺陷之后，接收对潜在缺陷列表的部分中的潜在缺陷的指示；根据所述第一子集和第二子集中的项的有效性和分类来更新所述方针；以及利用所更新的方针重复所述分配、选择、接收和更新，直至观察到停止标准。

主权项

1.一种检查对象的计算机化方法，所述方法包括：a.通过包括可操作地连接到存储器的处理器的计算机，接收多个潜在缺陷，所述多个潜在缺陷中的每个潜在缺陷与潜在缺陷位置相关联；b.通过所述计算机，执行所述多个潜在缺陷的第一聚类以获得第一子集和至少一个第二子集，所述聚类根据潜在缺陷位置之间的空间距离而被执行，使得所述第一子集中的潜在缺陷表征为：在至少一个物理区域中比所述至少一个第二子集中包括的潜在缺陷具有更高密度；c.通过所述计算机，将作为有效缺陷的第一概率自动分配给所述第一子集中的潜在缺陷，所述第一概率是根据第一方针计算的；d.通过所述计算机，将作为有效缺陷的第二概率自动分配给所述至少一个第二子集中的潜在缺陷，所述第二概率是根据第二方针计算的，所述第二方针规定如何组合至少两个第二因素；e.通过所述计算机，根据包括审查次数在内的考虑来自动进行选择和分配，以根据第三方针和策略由审查工具来审查来自所述第一子集和所述至少一个第二子集的至少一个潜在缺陷，所述第三方针规定如何将来自多个子集的潜在缺陷组合为合并列表，所述策略指示如何组合来自所述合并列表的最高元素和来自所述合并列表的随机选择元素；f.通过所述计算机，接收所述潜在缺陷列表的部分中的潜在缺陷的有效性或类别指示，所述指示在所述潜在缺陷列表的所述部分中的潜在缺陷由所述审查工具审查之后被接收；以及g.在未观察到停止标准后：i.通过所述计算机，根据所述第一子集和所述至少一个第二子集中的项的有效性或分类来更新所述第一方针、所述第二方针或所述第三方针；以及ii.通过所述计算机，根据所更新的所述第一方针、所述第二方针或所述第三方针重复步骤(c)-(g)，直至观察到所述停止标准。