[发明专利]挂片送料装置以及光学镀膜设备在审

专利信息
申请号: 201710996947.6 申请日: 2017-10-20
公开(公告)号: CN107663625A 公开(公告)日: 2018-02-06
发明(设计)人: 徐旻生;庄炳河;龚文志;张永胜;满小花;王应斌 申请(专利权)人: 爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司44414 代理人: 张全文
地址: 518000 广东省深圳市南山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明属于光学镀膜技术领域,尤其涉及一种挂片送料装置以及光学镀膜设备,其中,挂片送料装置包括基片架、位于镀膜机左侧并与送片口连通的递送室、与递送室连通并位于递送室下方的中间室以及用于将基片架从中间室提起至递送室并从送片口递送至中间转盘以使基片架挂持于中间转盘的垂直递送机构,基片架包括基架座以及连接于基架座右侧的倒勾,垂直递送机构包括中间连接组件、与中间连接组件连接并用于拿取基片架的挂架、用于驱动中间连接组件上下运动的垂直驱动组件以及驱动中间连接组件左右运动的水平驱动组件。基于本发明的结构,简化了挂片作业,提高了挂片效率。
搜索关键词: 挂片送料 装置 以及 光学 镀膜 设备
【主权项】:
一种挂片送料装置,用于将基片送入镀膜机,所述镀膜机具有送片口以及中间转盘,其特征在于,所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、位于所述镀膜机左侧并与所述送片口连通的递送室、与所述递送室连通并位于所述递送室下方的中间室以及用于将所述基片架从所述中间室提起至所述递送室并从所述送片口递送至所述中间转盘以使所述基片架挂持于所述中间转盘的垂直递送机构,所述基片架包括基架座以及连接于所述基架座右侧的倒勾,所述垂直递送机构包括中间连接组件、与所述中间连接组件连接并用于拿取所述基片架的挂架、用于驱动所述中间连接组件上下运动的垂直驱动组件以及驱动所述中间连接组件左右运动的水平驱动组件。
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