[发明专利]具有集成的温度测量的振动传感器有效
| 申请号： | 201710998463.5 | 申请日： | 2017-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN107990973B | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 多米尼克·费伦巴赫;福尔克·奥尔盖耶 | 申请（专利权）人： | VEGA格里沙贝两合公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08;G01K7/34 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 曹正建;陈桂香 |
| 地址： | 德国沃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有集成的温度测量的振动传感器，该振动传感器具有能够振动的薄膜以及用于使所述薄膜振动并用于测量所述薄膜的振动的压电驱动器，驱动器具有机械地串联连接的至少两个压电元件，其中至少一个第一压电元件由第一压电材料形成且至少一个第二压电元件由第二压电材料形成，并且通过检测至少一个压电元件的电容来确定温度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 集成 温度 测量 振动 传感器 | ||
【主权项】：
一种具有集成的温度测量的振动传感器(1)，其具有：能够振动的薄膜(5)；压电驱动器(3)，所述压电驱动器用于使所述薄膜(3)振动并用于测量所述薄膜(3)的振动，其中，所述压电驱动器具有机械地串联连接的至少两个压电元件(71、72)，其特征在于，至少一个第一压电元件(71)由第一压电材料形成，且至少一个第二压电元件(72)由第二压电材料形成，并且通过检测至少一个压电元件的电容来确定温度。
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