[发明专利]一种半导体器件老练实验装置及方法在审
| 申请号： | 201710998850.9 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN108020767A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李志福 | 申请（专利权）人： | 朝阳无线电元件有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 侯蔚寰 |
| 地址： | 122000 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明具体涉及一种半导体器件老练实验装置及方法，属于半导体器件加工技术领域。目的是提供一种半导体器件老练装置及方法，能够从根本上解决半导体器件老练不能实现标准要求问题。装置包括老化电源系统、半导体器件、油槽、夹具、冷却系统，所述半导体器件通过夹具夹持且置于油槽中，半导体器件与老化电源系统电连接，冷却系统用于控制油温和半导体器件结温。方法为将半导体器件采用浸渍方法至于油槽中，通过冷却系统精确控制油温和器件结温，实现半导体器件老练功能。本发明设计老练试验台一次可以老练多只器件（100只‑200只），极大提高老练工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体器件 老练 实验 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体器件老练实验装置，包括老化电源系统、半导体器件，其特征在于，所述半导体器件老练实验装置还包括油槽、夹具、冷却系统，所述半导体器件通过夹具夹持且置于油槽中，半导体器件与老化电源系统电连接，冷却系统用于控制油温和半导体器件结温。
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