[发明专利]一种钛靶材的制造方法在审
| 申请号： | 201711001986.4 | 申请日： | 2017-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN107523795A | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 沈小利;牛会梅 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市铭坤有色金属有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所61214 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 721013 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开的一种钛靶材的制造方法，包括选取钛原料，将钛原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；之后立即进行第一热处理，然后将保温热处理后的铸锭坯料形成第一钛坯；进行第二热处理，然后将保温热处理后的第一钛坯形成第二钛坯对第二钛坯冷却到室温后，在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延，形成冷轧坯；将冷轧坯做退火热处理，得到晶粒细小且均匀的钛靶坯，之后通过机床加工即得钛靶材。本发明通过多次热处理，使得钛坯中的元素产生固态扩散，来减轻化学成分分布的不均匀性，减少靶材坯料的分层现象，缩小晶粒尺寸；同时可消除残余应力，稳定尺寸，减低硬度和脆性，增加其可塑性，减少变形与裂纹倾向。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钛靶材 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钛靶材的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：选取钛原料，采用大气熔炼或真空熔炼的方法将钛原料熔融，并将熔汤浇铸，浇铸后的熔汤冷却形成铸锭坯料；步骤2：将步骤1浇铸所形成的铸锭坯料立即进行第一热处理，第一热处理的温度为450～650℃，保温时间0.5～2.5h，然后将保温热处理后的铸锭坯料进行热轧延或者空气锤锻打，形成第一钛坯；步骤3：对步骤2中形成的第一钛坯进行第二热处理，第二热处理的温度为350～550℃，保温时间为1～3h，然后将保温热处理后的第一钛坯进行热轧延或者空气锤锻打，形成第二钛坯；步骤4：对步骤3得到的第二钛坯冷却到室温后，在室温的环境下对第二钛坯进行冷轧延，形成冷轧坯；步骤5：将步骤4冷轧所形成的冷轧坯做退火热处理，退火热处理温度为300～700℃，时间为1～5h，得到晶粒细小且均匀的钛靶坯，之后通过机床加工即得钛靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宝鸡市铭坤有色金属有限公司，未经宝鸡市铭坤有色金属有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711001986.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种超耐热高强度铝合金材料
- 下一篇：微弧氧化处理的镁合金上的表面处理方法
- 同类专利
- 专利分类
