[发明专利]一种纳米管LED及其制作方法在审
申请号: | 201711005691.4 | 申请日: | 2017-10-24 |
公开(公告)号: | CN107731975A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 杨为家;吴质朴;何畏;陈强 | 申请(专利权)人: | 江门市奥伦德光电有限公司;五邑大学 |
主分类号: | H01L33/02 | 分类号: | H01L33/02;H01L33/06;B82Y30/00 |
代理公司: | 广州嘉权专利商标事务所有限公司44205 | 代理人: | 梁嘉琦 |
地址: | 529000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳米管LED及其制作方法,所述纳米管LED包括衬底和设置在衬底上的外延层,所述外延层垂直刻蚀有多个具有相同结构的纳米管,所述纳米管的内壁和/或外壁附着有金属纳米粒子。通过在外延层采用纳米管结构,通过纳米管间的间隙以及纳米管的空心结构形成大量的空间间隙,LED芯片中各个纳米管产生的热量就可以通过大量的空间间隙散发掉,提升了LED芯片的散热性能。同时还可以利用纳米管阵列的特殊光学特性,可以提高LED在垂直方向的出光效率;同时通过在纳米管上镀金属纳米粒子,利用表面等离子体增强效应,在小电流下实现高光效,而位于纳米管表面的金属纳米粒子由于具有高反射特性,可以将侧面的发光反射出去,提高了LED芯片的出光效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 led 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
一种纳米管LED,包括衬底和设置在衬底上的外延层,其特征在于:所述外延层垂直刻蚀有多个具有相同结构的纳米管,所述纳米管的内壁和/或外壁附着有金属纳米粒子。
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