[发明专利]硬掩模用组合物在审
| 申请号： | 201711008544.2 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN108089405A | 公开（公告）日： | 2018-05-29 |
| 发明（设计）人： | 梁敦植;梁振锡;朴根永;崔汉永 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/11 | 分类号： | G03F7/11 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明提供一种硬掩模用组合物，硬掩模用组合物包含芳香族化合物的聚合物、包含通式1所表示的化合物的交联剂、和溶剂。由于该交联剂而能够形成耐热性和涂布性同时被提高的硬掩模，通式1中，n为1～10的整数。通式1 |
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| 搜索关键词： | 硬掩模 交联剂 耐热性 芳香族化合物 聚合物 涂布性 溶剂 | ||
【主权项】：
1.一种硬掩模用组合物，其包含：芳香族化合物的聚合物；包含下述通式1所表示的化合物的交联剂；和溶剂，通式1
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