[发明专利]一种用于光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测方法在审
| 申请号： | 201711009856.5 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107817256A | 公开（公告）日： | 2018-03-20 |
| 发明（设计）人： | 张勇;侯宁;梁斌;胡旷南 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所23109 | 代理人： | 岳泉清 |
| 地址： | 150001 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种用于光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测方法，本发明涉及超精密加工亚表面损伤的无损检测方法。本发明的目的是为了解决现有技术主要是基于某一特定的亚表面损伤形式或对某一微小截面区域的亚表面损伤形式进行检测，检测过程往往具有破坏性，其检测结果不能全面准确地反映实际加工过程中光学晶体材料的亚表面损伤形式的问题。过程为一、将被检测光学晶体置于可移动工作台上；二、使X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面平行；三、使X射线与晶体表面形成一定夹角；四、得到X射线与晶体结构发生衍射时的衍射特征谱线信息；五、重复三、四，完成对光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测。本发明用于无损检测领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光学 晶体 精密 加工 表面 损伤 无损 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种用于光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测方法，其特征在于：所述方法具体过程为：步骤一、将被检测光学晶体置于可移动工作台上；步骤二、调整X射线源初始位置，使X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面平行，同时使X射线探测器复位到初始位置；步骤三、调整X射线源位置，使X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面之间形成一定夹角ω并固定；步骤四、检测：启动X射线探测器沿圆周移动，X射线探测器探测X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面和亚表面结构发生衍射时的角度位置和衍射X射线的强度，记录并存储，得到夹角ω下X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面和亚表面损伤层晶体结构发生衍射时的衍射特征谱线信息；步骤五、重复步骤三、步骤四得到不同夹角ω下X射线源产生的X射线与被检测光学晶体表面和亚表面损伤层晶体结构发生衍射时的衍射特征谱线信息，记录并存储，完成对光学晶体超精密加工亚表面损伤的无损检测。
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