[发明专利]基于电化学的微构件可靠无损操作在审
| 申请号： | 201711011527.4 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN108108509A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李东洁;王倩倩;彭怀宇 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;G06F19/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明以研究微构件可靠无损操作的新方法为目标，对基于电化学理论的微构件拾取及释放的理论、方法和微电极制造等关键技术展开研究：首先分析利用管状微电极通过电化学沉积可靠拾取和通过电解无损准确释放微构件时需克服的微观作用力，建立拾取及释放时的受力模型；基于上述理论模型，对微构件的操作过程进行有限元分析，找出在无损条件下的最佳操作角度、操作点和最有利操作的微电极形状并进行微电极的制备；找出无析出时最快速度沉积的条件，获取沉积拾取及电解释放时电流与各参数之间的关系，得出高效无损操作的最佳拾取及释放时间。最后搭建电化学微操作平台，对以微Cu、Ag线为代表的微构件进行实验操作，修正和验证所提出的理论和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 微构件 拾取 微电极 无损 释放 电化学 沉积 电解 电化学沉积 电化学理论 操作过程 关键技术 理论模型 实验操作 受力模型 无损条件 析出 操作点 微操作 制备 分析 微观 验证 修正 研究 制造 | ||
【主权项】：
1.基于电化学的微构件可靠无损操作，其特征在于，首次提出将微构件作为微操作对象，使微纳制造技术突破了传统的光刻、电子束光刻和纳米压印只能进行二维结构制造的局限，使不同材料的复杂微系统的制造成为可能。
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