[发明专利]一种双等离子体离子源放电电源在审
| 申请号： | 201711011663.3 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107579662A | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 邱春玲;李腾飞;龙涛;包泽民;田地 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | H02M3/335 | 分类号： | H02M3/335;H02M1/32 |
| 代理公司： | 沈阳铭扬联创知识产权代理事务所(普通合伙)21241 | 代理人： | 屈芳 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明为一种双等离子体离子源放电电源。包括移相PWM控制电路是电源的控制端，通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号，通过移相的方式调节输出信号波形的占空比；通过整流滤波电路，将220V，50HZ交流电转换成300V直流电；全桥逆变电路，根据所述移相PWM控制电路的输出信号转换成300V交流电；升压变压器，将全桥逆变电路输出的300V交流电升高到5000V左右交流电；电源输出电流与电压，反馈至移相PWM控制电路。本发明解决恒压恒流电源,其输出电压、输出电流调节范围小，功率小，电源工作方式等原因,不能满足双等离子体离子源的需要。采用本电源应用于双等离子体离子源，使二次离子质谱的实验更高效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双等离子体离子源 放电 电源 | ||
【主权项】：
一种双等离子体离子源放电电源，其特征在于，该电源包括：移相PWM控制电路，为电源的控制端，通过接收到输出电压与输出电流的反馈信号，通过移相的方式调节输出信号波形的占空比；整流滤波电路，将220V，50HZ交流电转换成300V直流电；全桥逆变电路，将所述整流滤波电路输出的300V直流电，根据所述移相PWM控制电路的输出信号转换成300V交流电；升压变压器，将全桥逆变电路输出的300V交流电升高到5000V左右交流电；高频整流滤波电路，将升压变压器输出5000V左右高频交流电经过整流滤波输出为直流电；电压释放电路，连接在高频整流滤波的输出端，断电后将存留在电源高频整流滤波电路电容内高压快速释放掉；电压采样电路，电源输出电压经过分压电路得到的电压值，反馈至移相PWM控制电路；电流采样电路，电源输出电流经过采样电阻之后得到电压值，反馈至移相PWM控制电路。
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