[发明专利]一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置有效
| 申请号： | 201711015684.2 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109711230B | 公开（公告）日： | 2023-05-02 |
| 发明（设计）人： | 陈福刚;唐丽贤;林保璋 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G06V40/13 | 分类号： | G06V40/13 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 高伟;冯永贞 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供一种半导体指纹传感器及其制作方法、电子装置。所述方法包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括逻辑区和至少一个像素区；在所述逻辑区形成顶部互连线，在所述像素区形成顶部极板，所述顶部互连线和所述顶部极板位于同一层；在所述像素区的顶部极板上形成表面凹凸不平的互连层，以增加所述互连层的表面积。通过在顶部极板上形成表面凹凸不平的互连层，增加了所述互连层的表面积，相应的增加了指纹识别时所形成的电容器的电容值，提高了半导体指纹传感器的性能，并且由于电容器的电容值增加，使得噪声电容(即前述C |
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| 搜索关键词： | 一种 半导体 指纹 传感器 及其 制作方法 电子 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体指纹传感器的制作方法，其特征在于，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底包括逻辑区和至少一个像素区；在所述逻辑区形成顶部互连线，在所述像素区形成顶部极板，所述顶部互连线和所述顶部极板位于同一层；在所述像素区的顶部极板上形成表面凹凸不平的互连层，以增加所述互连层的表面积。
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