[发明专利]一种叉指电极及其制备方法在审
申请号: | 201711017881.8 | 申请日: | 2017-10-26 |
公开(公告)号: | CN107658141A | 公开(公告)日: | 2018-02-02 |
发明(设计)人: | 杨晓艳 | 申请(专利权)人: | 杨晓艳 |
主分类号: | H01G11/26 | 分类号: | H01G11/26;H01G11/86 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司11659 | 代理人: | 徐鹏飞 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种叉指电极及其制备方法。其中,叉指电极,包括第一电极,第一电极包括至少一个第一侧面;第一电极的至少一个第一侧面上设置至少一个垂直于第一侧面的第一子电极;第二电极,第二电极包括至少一个第二侧面;第二电极的至少一个第二侧面上设置至少一个垂直于第二侧面的第二子电极;第一侧面与所述第二侧面平行且位于同一直线上;第一子电极与所述第二子电极同时位于第一平面上。实现了增加单位面积下第一电极和第二电极的正对面积,提高了MEMS超级电容器的能量密度。 | ||
搜索关键词: | 一种 电极 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种叉指电极,其特征在于,包括:第一电极,所述第一电极包括至少一个第一侧面;所述第一电极的至少一个第一侧面上设置至少一个垂直于所述第一侧面的第一子电极;第二电极,所述第二电极包括至少一个第二侧面;所述第二电极的至少一个第二侧面上设置至少一个垂直于所述第二侧面的第二子电极;所述第一侧面与所述第二侧面平行且位于同一直线上;所述第一子电极与所述第二子电极同时位于第一平面上。
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