[发明专利]聚醚醚酮光学反射镜的加工方法

摘要

聚醚醚酮光学反射镜的加工方法，包括聚醚醚酮反射镜基底抛光、改性层制备、改性层抛光、真空蒸镀反射膜，聚醚醚酮反射镜基底抛光包括前期准备；配制研磨液；镜坯表面抛光处理；擦拭残留研磨液；改性层制备包括放入真空蒸镀设备；抽真空；轰击清洗；蒸镀改性层材料；改性层抛光工艺过程包括配制抛光溶液；镜坯改性层表面抛光；结合干涉仪检测表面面形；真空蒸镀反射膜包括镜坯放入真空蒸镀设备；抽真空；轰击清洗；蒸镀反射层材料，在真空室自然冷却至室温。本发明可使聚醚醚酮反射镜达到传统光学玻璃反射镜的面形精度、并达到传统光学玻璃反射镜的光谱反射效率；所得聚醚醚酮反射镜轻便、耐磕碰、结构易加工、耐腐蚀。

主权项

一种聚醚醚酮光学反射镜的加工方法，包括聚醚醚酮反射镜基底抛光、改性层制备、改性层抛光、真空蒸镀反射膜，其特征在于，步骤如下， 其中聚醚醚酮反射镜基底抛光工艺过程包括：⑴.前期准备工作，将聚醚醚酮镜坯表面清洗干净并擦干；⑵.配制研磨液，将研磨粉与蒸馏水按照一定比例配制成研磨液；⑶.室温下，在抛光设备上进行镜坯表面抛光处理；⑷.待抛光过程结束后，擦拭镜面表面残留的研磨溶液，准备进行改性层制备工艺过程；其中改性层制备工艺过程包括以下工作步骤：⑸.将彻底清洁后的聚醚醚酮镜坯放入真空蒸镀设备；⑹.抽真空至5×10‑4Pa；⑺.开启离子源对聚醚醚酮镜坯表面进行轰击清洗，增加表面活性；⑻.蒸镀改性层材料为硅或镍，厚度为10μm‑15μm，蒸镀厚度达到后，在真空室自然冷却至室温，准备进行改性层抛光工艺过程；其中改性层抛光工艺过程包括以下工作步骤：⑼. 配制抛光溶液，将抛光粉与蒸馏水按照一定比例配制成抛光溶液；⑽. 室温与洁净环境下，在抛光设备上对聚醚醚酮镜坯改性层进行表面抛光；⑾. 抛光过程中结合干涉仪检测表面面形，最终达到面形要求；其中真空蒸镀反射膜工艺过程包括以下工作步骤：⑿. 将彻底清洁后的聚醚醚酮镜坯放入真空蒸镀设备；. 抽真空至5×10‑4Pa；. 开启离子源对聚醚醚酮镜片表面进行轰击清洗，增加表面活性；. 蒸镀反射层材料，蒸镀结束后，在真空室自然冷却至室温，加工过程结束。