[发明专利]Cu2 有效
申请号: | 201711022319.4 | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN108034926B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 刘小鱼;李静雅;孙良成;李慧;鲁飞;刘树峰;王峰;娄树普;温永清 | 申请(专利权)人: | 包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C24/04 |
代理公司: | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人: | 张良 |
地址: | 014030 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: |
本发明公开了一种Cu |
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搜索关键词: | cu base sub | ||
【主权项】:
1.一种Cu2 Se化合物旋转靶材的制备方法,包括:以无磁金属管件作为基体,选用平均粒度1~5μm的Cu2 Se粉体;利用超音速冷喷涂技术在基体外表面喷涂Cu2 Se粉体,沉积层厚度不超过20mm;利用冷等静压技术高压处理,进一步提高密度;通过高温烧结获取旋转靶材毛坯,旋转靶材毛坯的相对密度96%~98%;对成型的旋转靶材毛坯进行机械加工,加工完毕后再进行清洗、烘干得到旋转靶材。
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