[发明专利]CuSe化合物旋转靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201711027535.8 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107858656B | 公开（公告）日： | 2020-09-01 |
| 发明（设计）人： | 孙良成;鲁飞;刘小鱼;李静雅;李慧;刘树峰;娄树普;温永清 | 申请（专利权）人： | 包头稀土研究院;瑞科稀土冶金及功能材料国家工程研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C24/04 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 张良 |
| 地址： | 014030 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种CuSe化合物旋转靶材的制备方法，包括：选用无磁管材为基体；利用超音速冷喷涂技术将CuSe粉体在预处理后的基体外表面喷涂，沉积层厚度不超过20mm；再利用冷等静压技术在超高压下进一步提高密度；通过高温烧结获取相应组织结构的旋转靶材毛坯，机加工得到旋转靶材。本发明制取得到的CuSe材料的内部密度均匀，有利于良好镀膜的形成，减少太阳能产品的次品率。 | ||
| 搜索关键词： | cuse 化合物 旋转 制备 方法 | ||
【主权项】：
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