[发明专利]从形成在衬底上的固化图案层分离纳米压印模板的设备和方法有效
| 申请号： | 201711029734.2 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN108020986B | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 崔炳镇 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 林振波 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于从衬底上的固化图案层分离纳米压印模板的方法和设备，最少化了包括最终分离时刻(LPOS)缺陷在内的分离缺陷。该方法可包括：使模板和衬底相对于彼此移动，以产生施加到模板和衬底的张力；测量施加到模板和衬底的张力；判定施加到模板背侧和衬底背侧的压力大小，以便减小施加张力的大小；通过将判定了大小的压力施加到模板背侧和衬底背侧来减小施加到模板或者衬底的张力；然后重复上述步骤一次或者多次，直到模板完全从固化图案层分离为止。设备可配置成实现上述方法。该方法和设备可有利地应用于例如模板复制处理。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 衬底 固化 图案 分离 纳米 压印 模板 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种从形成在衬底上的固化图案层分离纳米压印模板的方法，该方法包括以下步骤：(a)使模板和衬底相对于彼此移动，以产生施加到模板和衬底的张力；(b)测量施加到模板和衬底的张力；(c)判定施加到模板背侧和衬底背侧的压力大小，以便减小所施加张力的大小；(d)通过将判定了大小的压力施加到模板背侧和衬底背侧来减小施加到模板或者衬底的张力；和(e)重复步骤(a)至(d)一次或者多次，直到模板完全从固化图案层分离为止。
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