[发明专利]一种全介质消偏振分光棱镜及其制备方法在审
| 申请号： | 201711030167.2 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107561623A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 黄文华;朱一村;廖洪平;陈伟;陈秋华 | 申请（专利权）人： | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30;C23C14/30;C23C14/10;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350003 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种全介质消偏振分光棱镜。本发明的目的在于提供一种能有效降低膜系设计的难度、便于设计控制、易于制备的消偏振分光棱镜，它包括入射镜片（1）、出射镜片（3）以及胶合在入射镜片和出射镜片之间的全介质消偏振分光膜（2）；所述全介质消偏振分光膜是由高、中、低三种不同膜料依次交替组合而成的多层分光膜，所述高折射率膜料为Ti3O5，所述中折射率膜料为M3,所述中折射率膜料为SiO2。本发明的有益效果是不仅有效降低加工难度，减少加工成本，便于设计生产，而且膜层硬度和牢固度好，其工作波段为532nm，透反比5050，S偏振和P偏振的差值小于±3%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 介质 偏振 分光 棱镜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种全介质消偏振分光棱镜，其特征在于：它包括入射镜片（1）、出射镜片（3）以及胶合在入射镜片（1）和出射镜片（3）之间的消偏振分光膜（2）组成；其特征在于：所述消偏振分光膜（2）是由高、中、低三种不同膜料依次交替组合而成的多层分光膜，所述消偏振分光膜由24层介质膜层组成，该24层介质膜膜层从入射镜片（1）至出射镜片（3）依次为：第1层，SiO2膜层（11）、第2层，M3膜层（12）、第3层，Ti3O5膜层（13）、第4层，M3膜层（12）、第5层，Ti3O5膜层（13）、第6层，M3膜层（12）、第7层，SiO2膜层（11）、第8层，M3膜层（12）、第9层，SiO2膜层（11）、第10层， M3膜层（12）、第11层， Ti3O5膜层（13）、第12层，M3膜层（12）、第13层，Ti3O5膜层（13）、第14层，M3膜层（12）、第15层，Ti3O5膜层（13）、第16层，M3 膜层（12）、第17层，SiO2膜层（11）、第18层，M3 膜层（12）、第19层，SiO2膜层（11）、第20层，M3膜层（12）、第21层， Ti3O5膜层（13）、第22层， M3膜层（12）、第23层，Ti3O5膜层（13）、第24层，M3膜层（12）。
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