[发明专利]大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机

摘要

本发明旨在提供一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，包括机架、底盘、电弧源组件、旋转架组件、驱动机构和传动机构；底盘由机架支撑而水平设置，底盘用于与大型罐体的开口端密封对接，形成以大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，旋转架组件旋转密封地竖立在底盘中央，电弧源组件活动安装在旋转架组件上，电弧源组件的水电气线路由底盘引出炉外，驱动机构通过传动机构与旋转架组件相连，驱动旋转架组件旋转并带动其上的电弧源组件作旋转运动，另驱动机构通过传动机构驱动电弧源组件作升降运动，并在电弧源组件上升到接近大型罐体顶部时，驱使电弧源组件前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，与大型罐体的弧形封顶盖相对。

主权项

1.一种大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，其特征在于，包括机架、底盘、电弧源组件、旋转架组件、驱动机构和传动机构；所述底盘由所述机架支撑而水平设置，所述底盘用于与所述大型罐体的开口端密封对接，形成以所述大型罐体作为真空镀室外壁的临时镀室，所述旋转架组件旋转密封地竖立在所述底盘中央，所述电弧源组件活动安装在所述旋转架组件上，其前端为电弧靶，靶面朝向所述大型罐体内壁，所述电弧源组件的水电气线路由所述底盘引出炉外，所述驱动机构通过所述传动机构与所述旋转架组件相连，驱动所述旋转架组件旋转并带动其上的所述电弧源组件作旋转运动，另所述驱动机构通过所述传动机构驱动所述电弧源组件作升降运动，并在所述电弧源组件上升到接近所述大型罐体顶部时，驱使所述电弧源组件前端像高低板一样绕一支点旋转仰起，与所述大型罐体的弧形封顶盖相对。