[发明专利]光阻液储存桶及光阻涂布机

摘要

本发明公开了一种光阻液储存桶，包括桶本体，设置在桶本体内的至少两个隔板，所述隔板与所述桶本体活动连接，所述隔板将桶本体的内腔划分为至少三个腔室，当其中一块隔板向上移动时，位于该隔板两侧的腔室相互连通；位于桶本体其中最外一侧的腔室上设有光阻供液管、CDA压力管、脱气管；位于桶本体另一最外一侧的腔室上设有与桶本体密封连接的光阻供给管；位于最外两侧的腔室之间的腔室上设有与存储桶密封连接的加减压管。本发明还提供了一种光阻涂布机，包括所述的光阻液储存桶。与现有技术相比，实现推动隔板自动上升，从而进行补液；大大节省了人力更换的时间，避免了光阻的浪费，而且桶本体还可以循环使用，避免了材料的浪费。

主权项

一种光阻液储存桶，其特征在于：包括桶本体(1)、设置在桶本体内的至少两个隔板(2)，所述隔板与所述桶本体活动连接，桶本体所述隔板(2)将桶本体(1)的内腔划分为至少三个腔室，当其中一块隔板(2)向上移动时，位于该隔板(2)两侧的腔室相互连通；位于桶本体(1)其中最外一侧的腔室上设有光阻供液管(12)、CDA压力管(13)、脱气管(14)，所述光阻供液管(12)的一端伸出桶本体(1)外，另一端延伸至该腔室的靠近底部处，所述光阻供液管(12)、CDA压力管(13)、脱气管(14)均与桶本体(1)的内腔壁之间密封连接；位于桶本体(1)另一最外一侧的腔室上设有与桶本体(1)密封连接的光阻供给管(11)；位于最外两侧的腔室之间的腔室上设有与存储桶(1)密封连接的加减压管(15)，通过对具有加减压管(15)的腔室进行加压或减压，使具有加减压管(15)的腔室中光阻液液面以上的压力与相邻两侧腔室中光阻液液面以上的压力相等，从而驱动相应位置处的隔板(2)上升，实现补液。