[发明专利]电子束装置以及具备该电子束装置的X射线产生装置和扫描电子显微镜

摘要

本发明的课题在于提供高分辨率且能够小型化的电子束装置、以及具备该电子束装置的X射线产生装置和扫描电子显微镜。电子束装置(1)具备：阴极(21)，所述阴极放射电子；阳极(23)，所述阳极是形成电场以便借助从阴极(21)放射出的电子来形成电子束的电极，且形成有供电子束穿过的第1孔(23a)；形成有开口(31)的光阑部件(30)，所述光阑部件遮挡穿过阳极(23)后的电子束的外周部；以及聚焦电极(40)，所述聚焦电极是形成电场以便使穿过开口(31)后的电子束聚焦的电极，由形成有供电子束穿过的第2孔(41)的一个单孔电极构成。

主权项

1.一种电子束装置，其特征在于，具备：阴极，所述阴极放射电子；阳极，所述阳极是形成电场以便借助从所述阴极放射出的所述电子来形成电子束的电极，且形成有供所述电子束穿过的第1孔；形成有开口的光阑部件，所述光阑部件将穿过所述阳极后的所述电子束的一部分遮蔽；以及最末级的电子透镜，所述最末级的电子透镜是形成电场以便使穿过所述开口后的所述电子束聚焦的电极，由形成有供所述电子束穿过的第2孔的一个单孔电极构成。