[发明专利]一种轴对称半封闭曲面件内表面镀层均匀增强结合的方法及其应用有效
| 申请号： | 201711046343.1 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107815637B | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王庆富;尹安毅;陈林;王述钢;刘清和 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/35 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 沈强 |
| 地址： | 621907 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种轴对称半封闭曲面件内表面镀层均匀增强结合的物理气相沉积方法及其应用，目的在于解决采用现有方法对轴对称半封闭曲面件内表面进行辉光放电清洗时，基于电场分布存在的“法拉第杯”效应，导致辉光放电清洗与镀膜过程中的离子轰击作用主要集中在轴对称半封闭曲面件内表面的口部，并导致轴对称半封闭曲面件内表面其余部位镀层与基体结合能力较弱的问题。本发明通过象形辅助阳极来改变轴对称半封闭曲面工件内表面的电场分布，从而增强辉光放电清洗过程中的离子轰击作用，获得镀前工件洁净表面，最终有效增强轴对称半封闭曲面工件内表面磁控溅射镀层的结合性能。本发明能有效实现轴对称半封闭曲面工件内表面磁控溅射镀层与基体之间的均匀增强结合，显著提升装备制造水平。 | ||
| 搜索关键词： | 半封闭 轴对称 内表面 辉光放电清洗 曲面工件 镀层 内表面镀层 磁控溅射 电场分布 离子轰击 物理气相沉积 镀膜过程 法拉第杯 辅助阳极 洁净表面 结合能力 结合性能 提升装备 有效实现 象形 口部 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种轴对称半封闭曲面件内表面镀层均匀增强结合的方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将轴对称半封闭曲面工件的开口部朝下设置，并将圆形平面磁控溅射靶设置于轴对称半封闭曲面工件下方，且轴对称半封闭曲面工件与圆形平面磁控溅射靶的轴线相重合，轴对称半封闭曲面工件与圆形平面磁控溅射靶之间保持一定的距离；(2)在轴对称半封闭曲面工件的开口部设置一个与轴对称半封闭曲面工件内表面相配合的象形辅助阳极，且象形辅助阳极的轴线与圆形平面磁控溅射靶的轴线重合；(3)使象形辅助阳极与轴对称半封闭曲面工件相对转动，进行物理气相沉积，当镀层达到设定值后，即可；所述步骤(3)中，进行物理气相沉积包括：辉光放电清洗过程、镀膜过程；在辉光放电清洗过程中，将象形辅助阳极与电源阳极相连；在镀膜过程中，象形辅助阳极接地；当镀层达到设定值后，即可。
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