[发明专利]端面检查装置及其聚焦图像数据获取方法

摘要

一种进行检查对象的端面的检查的端面检查装置，其具备：光学系统，能够将保持的检查对象的端面的像成像于图像获取部；聚焦度变化机构，使检查对象的端面与光学系统的焦点位置之间的距离变化；及控制部，进行利用图像获取部获取的图像数据的处理，在使检查对象的端面与光学系统的焦点位置之间的距离变化的期间，以预先设定的时间间隔来获取所述图像获取部输出的一连串的图像数据，并判定图像数据的每一个是否对焦，并选择对焦的图像数据作为端面检查用的图像数据。

主权项

一种端面检查装置，包括能够将保持的检查对象的端面的像成像于图像获取部的光学系统，并使用获取的图像数据进行所述检查对象的端面的检查，所述端面检查装置的特征在于，具备：聚焦度变化机构，使所述检查对象的端面与所述光学系统的焦点位置之间的距离变化，及控制部，在通过所述聚焦度变化机构来使所述检查对象的端面与所述光学系统的焦点位置之间的所述距离变化的期间，以预先设定的时间间隔来获取所述图像获取部输出的一连串的图像数据，并判定所述图像数据的每一个是否对焦，并选择对焦的图像数据作为端面检查用的图像数据。