[发明专利]一种弹性激光剥蚀样品靶座有效
申请号: | 201711048453.1 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107941893B | 公开(公告)日: | 2020-06-26 |
发明(设计)人: | 倪倩;陈立飞;陈海红;罗涛;张文;胡兆初 | 申请(专利权)人: | 中国地质大学(武汉) |
主分类号: | G01N27/62 | 分类号: | G01N27/62;G01N1/28;B23K26/70 |
代理公司: | 武汉知产时代知识产权代理有限公司 42238 | 代理人: | 龚春来 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种弹性激光剥蚀样品靶座,包括靶座本体,所述靶座本体的制作材料为弹性材料,所述弹性材料为透明的,所述靶座本体的表面平整,所述靶座本体上开有数个样品孔位,所述样品孔位的底部开有排气孔,所述样品孔位内放置样品,所述样品孔位的内径能通过挤压而增大,进而使样品孔位内能放置直径偏差在±2mm以内的样品,所述样品放置在样品孔位内时通过排气孔将样品和样品孔位之间多余的空气排出。本发明首次采用弹性材料制作样品靶座,巧妙解决了不同激光分析单位制备的样品直径普遍存在1‑2mm的偏差而无法通用的问题,提高了样品靶座的适用范围,也保证了靶座本体的表面平整和与样品之间的密封,显著减少了涡流的产生。 | ||
搜索关键词: | 一种 弹性 激光 剥蚀 样品 | ||
【主权项】:
一种弹性激光剥蚀样品靶座,其特征在于,包括靶座本体,所述靶座本体的制作材料为弹性材料,所述弹性材料为透明的,所述靶座本体一体成型,所述靶座本体通过弹性材料灌注而成,所述靶座本体的表面平整,所述靶座本体上开有数个样品孔位,所述样品孔位的底部开有排气孔,所述样品孔位内放置样品,所述样品孔位的内径能通过挤压而增大,进而使样品孔位内能放置直径偏差在±2mm以内的样品,所述样品放置在样品孔位内时通过排气孔将样品和样品孔位之间多余的空气排出。
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