[发明专利]一种靶材真空扩散焊接系统及方法有效
| 申请号： | 201711048458.4 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107584201B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;廖培君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K20/02 | 分类号： | B23K20/02;B23K20/14 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 赵志远<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其是涉及一种靶材真空扩散焊接系统及方法。该材真空扩散焊接系统至少包括：靶材、法兰和施力部件；所述靶材的外周面设置有凹槽部，所述法兰的侧边缘设置有翘起部，所述法兰装配于所述靶材上，且所述翘起部与所述凹槽部对应设置，所述施力部件用于向所述翘起部施加应力以使所述翘起部嵌合于所述凹槽部。通过车床上挤压的方式将法兰挤入到靶材内，该挤压装配的方式可以解决形状特殊的靶材和法兰材料的焊接困难的技术问题。而且，在焊接时还可进一步在靶材内部放入一热膨胀系数较大的柱体部件进行真空热处理实现扩散焊接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 扩散 焊接 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种靶材真空扩散焊接系统，其特征在于，包括：靶材、法兰和施力部件；所述靶材的外周面设置有凹槽部，所述法兰的侧边缘设置有翘起部，所述法兰装配于所述靶材上，且所述翘起部与所述凹槽部对应设置，所述施力部件用于向所述翘起部施加应力以使所述翘起部嵌合于所述凹槽部；/n还包括：柱体部件，所述柱体部件的端部插入至所述靶材的内部，所述柱体部件的膨胀系数大于所述靶材的膨胀系数，所述柱体部件的外径与所述靶材的内径相同。/n
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