[发明专利]超大尺寸光学图像传感器芯片装片工艺方法和吸嘴有效

专利信息
申请号: 201711057807.9 申请日: 2017-11-01
公开(公告)号: CN107768395B 公开(公告)日: 2020-04-10
发明(设计)人: 李良海;杨兵;肖汉武;丁雪龙 申请(专利权)人: 无锡中微高科电子有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146;H01L21/683
代理公司: 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) 32104 代理人: 殷红梅;屠志力
地址: 214035 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明提供一种超大尺寸光学图像传感器芯片装片工艺方法,包括以下步骤:提供一种与芯片尺寸相适配的吸嘴;吸嘴的底部四个角上分别设有限位柱;将所述吸嘴安装在具有识别系统的装片机头上,由装片机的识别系统定位后由吸嘴去吸取芯片;打开真空吸住芯片于吸附腔;吸嘴不接触芯片表面;将吸住芯片的吸嘴移动到基板上的芯片贴装位置;限位柱支撑在基板的粘接面上,此时芯片与基板的粘接面之间具有空隙;对基板进行加热;到恒温状态后,通过点胶机沿芯片边沿的底部进行粘结胶的填充;待芯片四周出胶均匀后,停止填充,恒温一段时间进行预固化,然后关闭真空,移开吸嘴,后继进行后固化。
搜索关键词: 超大 尺寸 光学 图像传感器 芯片 工艺 方法
【主权项】:
一种超大尺寸光学图像传感器芯片装片工艺方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1,提供一种与芯片尺寸相适配的吸嘴(1);所述吸嘴(1)包括吸附腔(101),以及位于吸附腔(101)上方并连通吸附腔的真空孔(102);吸嘴(1)的底部四个角上分别设有限位柱(103);四个限位柱(103)的高度一致;步骤S2,将所述吸嘴(1)安装在具有识别系统的装片机头上,由装片机的识别系统定位后由吸嘴(1)去吸取芯片(2);保证芯片(2)被卡在吸嘴(1)的中间位置,打开真空吸住芯片(2)于吸附腔(101);吸嘴(1)不接触芯片(2)表面;步骤S3,在基板(3)上确定芯片(2)贴装的位置,将吸住芯片(2)的吸嘴(1)移动到基板(3)上的芯片贴装位置;吸嘴(1)底部四个角上的限位柱(103)下端低于芯片(2)底面,限位柱(103)支撑在基板(3)的粘接面上,此时芯片(2)与基板(3)的粘接面之间具有空隙;步骤S4,对基板(3)进行加热;到恒温状态后,通过点胶机沿芯片(2)边沿的底部进行粘结胶的填充;恒温状态的温度控制在高于粘结胶能够流动的温度,但低于粘结胶的固化温度;步骤S5,待芯片(2)四周出胶均匀后,停止填充,恒温一段时间进行预固化,然后关闭真空,移开吸嘴(1),后继进行后固化。
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