[发明专利]一种声波辅助的粒状多晶硅流化床生产装置

摘要

一种声波辅助的粒状多晶硅流化床生产装置由声波发生器、流化床外壁、锥形圆环面、内套筒、圆环气体均布器、圆环隔断面、锥形圆环气体均布器、出料管、同心套管和加热器构成。本发明利用声波发生器生产的声波强化流化床内气、固相的传质，从而加快气相沉积速度，有利于加快生产速度、减少均相分解的物料损失；在内套筒上开孔，在内套筒内壁上形成气垫，防止了硅在器壁表面的沉积，减少维护时间和物料损失。

主权项

一种声波辅助的粒状多晶硅流化床生产装置，其特征在于所述的生产装置由声波发生器、流化床外壁、锥形圆环面、内套筒、圆环气体均布器、圆环隔断面、锥形圆环气体均布器、出料管、同心套管和加热器构成；所述的流化床外壁由上圆锥封头、圆筒壁和下圆锥封头组成；所述上圆锥封头的侧面设置有晶种进口管和废气排出口；所述圆筒壁通过锥形圆环面与内套筒的上端连接、通过圆环气体均布器与内套筒的中间连接、通过圆环隔断面与内套筒的下端连接；所述锥形圆环面、内套筒、圆筒壁和圆环气体均布器围成了第一气体缓冲腔；所述圆环隔断面、内套筒、圆筒壁和圆环气体均布器围成了第二气体缓冲腔；所述第二气体进口设置在圆筒壁上并与第一气体缓冲腔连通；所述加热器设置在第二气体缓冲腔的内部；所述的锥形圆环气体均布器的外边沿与圆环隔断面的内边沿连接，气体均布器的出料口与出料管的一端连接，所述出料管穿过下圆锥封头；所述圆环隔断面、锥形圆环气体均布器、出料管和下圆锥封头围成了第三气体缓冲腔；所述第一氢气进口设置在下圆锥封头上并与第三气体缓冲腔连通；所述同心套管穿过出料管并深入到生产装置的内部。