[发明专利]一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法

摘要

本发明公开了一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法。包括如下步骤：1）建立基于图像的迟滞模型。2）获取原子力显微镜的正向扫描图像和反向扫描图像，对这两幅图像进行特征点匹配，得到多组匹配的特征点的坐标信息。3）根据匹配的特征点在两幅图像中的坐标信息，计算迟滞模型中的参数。4）根据迟滞模型分别对正向扫描图像和反向扫描图像进行坐标变换重构，得到校正迟滞后的图像。本发明提出了一种合理、简单的基于扫描图像的迟滞模型，使用原始扫描得到的图像即可进行迟滞校正，无需对原子力显微镜进行硬件上的改造，节约了成本，可以为原子力显微镜提供低迟滞的高品质图像。

主权项

1.一种基于图像的迟滞模型校正AFM扫描图像迟滞的方法，其特征在于：具体步骤如下：(1)建立基于图像的迟滞模型；(2)使用原子力显微镜获得试样同一目标区域的正向扫描图像和反向扫描图像；(3)根据步骤(2)获取的正向扫描图像和反向扫描图像进行特征点匹配，获得多组匹配的特征点分别在正向扫描图像和反向扫描图像中的坐标信息；(4)根据步骤(3)获取的多组匹配的特征点的坐标信息，求解步骤(1)建立的迟滞模型的参数；(5)根据步骤(4)求解的迟滞模型分别对步骤(2)获取的正向扫描图像和反向扫描图像进行坐标变换重构，获得校正迟滞后的图像。