[发明专利]一种检测及校正晶圆与腔体载物台偏移的装置及方法

摘要

本发明公开了一种检测及校正晶圆与腔体载物台偏移的装置及方法，包括载物台、聚焦环和若干传感器，传感器设置于载物台和聚焦环之间的空隙中，用于监测聚焦环与设置在载物台上的晶圆之间的空间；处理器，用于判断若干传感器收集到的光斑的形状是否一致，以及判断若干传感器收集到的光斑的形状是否改变，从而判断晶圆与载物台是否发生偏移；万向微调装置，设置于载物台上，用于将偏移的晶圆微调至载物台的中心位置。本发明通过在等离子体刻蚀机台腔体中增加传感器，利用传感器发射和接收不一致原理检测晶圆的偏移，并在载物台上增加可控万向调节装置校正偏移，减少因偏移导致的电弧作用的几率。

主权项

1.一种检测及校正晶圆与腔体载物台偏移的装置，包括载物台和聚焦环，其特征在于，还包括：/n若干传感器，设置于所述载物台和所述聚焦环之间的空隙中，用于监测所述聚焦环与设置在所述载物台上的晶圆之间的空间；/n处理器，若干所述传感器分别与所述处理器相连接，所述处理器用于判断若干所述传感器收集到的光斑的形状是否一致，以及判断若干所述传感器收集到的光斑的形状是否改变，从而判断晶圆与所述载物台是否发生偏移；/n万向微调装置，设置于所述载物台上，用于将偏移的晶圆微调至所述载物台的中心位置。/n