[发明专利]陶瓷基板的转运设备在审
| 申请号： | 201711078380.0 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107720274A | 公开（公告）日： | 2018-02-23 |
| 发明（设计）人： | 狄建科;宗卫祥;孙大海;徐万峰 | 申请（专利权）人： | 苏州展德自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06;B25J9/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所32237 | 代理人： | 王玉国 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了陶瓷基板的转运设备，包括用于输送清洗篮治具的第一输送线单元、用于输送溅射治具的第二输送线单元、用于将陶瓷基板从清洗篮治具里取出的取出料四轴机器人以及用于将陶瓷基板排列至溅射治具中的转换放置六轴机器人，第一输送线单元与第二输送线单元呈并排平行布置，取出料四轴机器人和转换放置六轴机器人位于两输送线单元之间，转换放置六轴机器人与取出料四轴机器人相对。全自动化实现陶瓷基板的转运，无需人工介入，转换速度快，不易损坏陶瓷基板，避免人手指二次污染陶瓷基板。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 转运 设备 | ||
【主权项】：
陶瓷基板的转运设备，其特征在于：包括用于输送清洗篮治具的第一输送线单元、用于输送溅射治具的第二输送线单元、用于将陶瓷基板从清洗篮治具里取出的取出料四轴机器人以及用于将陶瓷基板排列至溅射治具中的转换放置六轴机器人，第一输送线单元与第二输送线单元呈并排平行布置，取出料四轴机器人和转换放置六轴机器人位于两输送线单元之间，转换放置六轴机器人与取出料四轴机器人相对。
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