[发明专利]低噪声平面磁传感器在审
| 申请号： | 201711078432.4 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN107907145A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 文玉梅;李平;卞雷祥 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01D5/20 | 分类号： | G01D5/20 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司31227 | 代理人： | 李庆 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种低噪声平面磁传感器，包括一衬底、一平面线圈和至少一减噪结构；所述减噪结构和所述平面线圈固定于所述衬底，且所述减噪结构与所述平面线圈部分贴合固定；所述减噪结构包括至少一第一导磁材料层和至少一第一绝缘层，所述第一导磁材料层形成涡流抑制结构，所述第一导磁材料层、所述第一绝缘层和所述平面线圈依次层叠布设。本发明的一种低噪声平面磁传感器，其具有体积小、噪声小、灵敏度高、分辨率高和稳定性好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 噪声 平面 传感器 | ||
【主权项】：
一种低噪声平面磁传感器，其特征在于，包括一衬底、一平面线圈和至少一减噪结构；所述减噪结构和所述平面线圈固定于所述衬底，且所述减噪结构与所述平面线圈部分贴合固定；所述减噪结构包括至少一第一导磁材料层和至少一第一绝缘层，所述第一导磁材料层形成涡流抑制结构，所述第一导磁材料层、所述第一绝缘层和所述平面线圈依次层叠布设。
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