[发明专利]一种检测晶圆放置状态的方法及系统在审
| 申请号： | 201711083663.4 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN107860416A | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 王文举;张继静 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 梁斌 |
| 地址： | 100000 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种检测晶圆放置状态的方法及系统，可以提升晶圆放置状态检测精度。包括光源发生器、光源接收器、晶圆及光波接收透射器，光源发生器输出的光源照射到晶圆壁上；光波接收透射器位于晶圆与光源接收器之间，用于接收光源发生器输出的光源中未被晶圆遮挡的光源，对第一波长光源进行透射，过滤其它波长的光源；光源接收器接收光波接收透射器透射的第一波长光源，获取第一波长光源的光源强度，判断获取的光源强度是否小于预先设置的第一波长光源阈值；若获取的光源强度小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆水平放置，若获取的光源强度不小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆倾斜放置或未放置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 放置 状态 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种检测晶圆放置状态的系统，其特征在于，该系统包括：光源发生器、光源接收器、晶圆以及光波接收透射器，其中，光源发生器与光源接收器位于晶圆壁的两侧；光源发生器输出的光源照射到晶圆壁上；光波接收透射器位于晶圆与光源接收器之间，用于接收光源发生器输出的光源中未被晶圆遮挡的光源，对第一波长光源进行透射，过滤其它波长的光源；光源接收器接收光波接收透射器透射的第一波长光源，获取第一波长光源的光源强度，判断获取的光源强度是否小于预先设置的第一波长光源阈值；若获取的光源强度小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆放置状态为水平放置，若获取的光源强度不小于预先设置的第一波长光源阈值，确定晶圆放置状态为倾斜放置或未放置晶圆。
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