[发明专利]激光晶化装置及晶化激光束的控制方法有效
| 申请号： | 201711084695.6 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108067756B | 公开（公告）日： | 2021-11-05 |
| 发明（设计）人： | 李童敏;全祥皓;姜美在;徐宗吾;苏炳洙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/06;B23K26/064;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种能够发出均匀的激光束而能够进行高质量的非晶硅层晶化的激光晶化装置及晶化激光束的控制方法，本发明的激光晶化装置包括能够发出激光束的激光束产生部、将激光束匀化的匀化器以及光扩散部，且匀化器包括分光透镜、叠光镜。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 化装 激光束 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种激光晶化装置，包括：激光产生部，用于发出激光束；短轴匀化器，使从所述激光产生部出射的激光束沿着第一方向匀化而出射；长轴匀化器，使从所述短轴匀化器出射的激光束沿着与所述第一方向垂直的第二方向匀化；光扩散部，将从所述长轴匀化器出射的激光束沿着第二方向扩散，所述长轴匀化器包括：分光部，将从所述短轴匀化器出射的激光束分割成沿着所述第二方向平行的多个子激光束；叠光镜部，将所述多个子激光束重叠而重叠成与所述子激光束平行的激光束。
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