[发明专利]一种管路保护装置及方法

摘要

本发明提出了一种管路保护装置及方法。所述管路保护装置包括：气源，用于提供注入所述进气系统的气体；堵块组件，在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时，所述堵块组件封闭所述第二进气管路和所述第三进气管路的管口，并且所述气源经由所述堵块组件与所述第三进气管路连接；气动阀组件，用于控制所述气源与所述第二进气管路之间的通断，以及在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时，控制所述气源与所述第三进气管路之间的通断。本发明避免了机台维护产生的管路腐蚀，有利于腔室金属污染的控制，提高管路使用寿命；并且本发明避免了在开腔维护中进气管路暴露于大气中，降低了颗粒产生的风险，降低了机台的回路时间。

主权项

1.一种管路保护装置，用于在进气系统维护过程中防止管路腐蚀，所述进气系统包括依次连接的气箱、第一进气管路、比例阀、第二进气管路、第三进气管路，其中所述第二进气管路和第三进气管路为可拆卸连接，其特征在于，所述管路保护装置包括：气源，用于提供注入所述进气系统的气体；堵块组件，在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时，所述堵块组件封闭所述第二进气管路和所述第三进气管路的管口，并且所述气源经由所述堵块组件与所述第三进气管路连接；气动阀组件，用于控制所述气源与所述第二进气管路之间的通断，以及在所述第二进气管路与所述第三进气管路分离时，控制所述气源与所述第三进气管路之间的通断。