[发明专利]一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法

摘要

一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法，先将PMMA颗粒溶于甲苯，涂敷在黑色亚克力板上，固化得双层加工样片；然后搭建光路，光路包括飞秒激光器，飞秒激光器输出光经过第一反射镜使光路转90°，反射光依次经过衰减片、光圈、半波片、分光棱镜、快门、第二反射镜、聚焦物镜垂直照射在移动载物台的加工工位上，飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接；再利用电脑调节飞秒激光器输出激光参数，将双层结构样片固定在移动载物台加工工位上，经飞秒激光照射，利用电脑控制移动载物台移动，本发明利用透明PMMA层和黑色亚克力板的光吸收率差异，使得膨胀区域与吸收区域的分离，使微透镜阵列结构不易破裂，提高了微透镜阵列直径和高度可控范围。

主权项

1.一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)将PMMA颗粒溶于甲苯，配制PMMA质量分数为15％‑25％的溶液，涂敷在黑色亚克力板(2)上，固化得双层加工样片；双层加工样片上层的透明PMMA层(1)作为膨胀层材料；下层的黑色亚克力板(2)作为吸收层材料；2)搭建光路，光路包括飞秒激光器(4)，飞秒激光器(4)输出光经过第一反射镜(5)使光路转90°，反射光依次经过衰减片(6)、光圈(7)、半波片(8)、分光棱镜(9)、快门(10)、第二反射镜(11)、聚焦物镜(12)垂直照射在移动载物台(13)的加工工位上，飞秒激光器(4)、快门(10)、移动载物台(13)和电脑(14)连接，利用半波片(8)和分光棱镜(9)调节激光功率，同时电脑(14)通过快门(10)控制光路的通断，采用聚焦物镜(12)用于飞秒激光器(4)输出激光的聚焦；3)利用电脑(14)调节飞秒激光器(4)输出激光，激光波长为800nm，重频为1kHz，脉宽为120fs，脉冲数为1000‑2500，激光功率为20‑60mw，阵列间距400‑600μm；4)将步骤1)制备的双层加工样片固定在移动载物台(13)加工工位上，调节移动载物台(13)位置，使激光(3)聚焦于双层加工样片的黑色亚克力板(2)，制备微透镜阵列。