[发明专利]两级压电驱动微纳定位平台有效
| 申请号： | 201711091282.0 | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN107622786B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李天翼;纪华伟 | 申请（专利权）人： | 杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G12B5/00 | 分类号： | G12B5/00;H02N2/00 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 周希良 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种两级压电驱动微纳定位平台，包括基座、一级运动平台、一级运动平台柔顺机构、二级运动平台、二级运动平台运动导向机构和压电陶瓷驱动器；所述一级运动平台通过所述一级运动平台柔顺机构装配于所述基座中，所述一级运动平台柔顺机构包括一级运动平台位移放大机构和一级运动平台运动导向机构；所述二级运动平台通过所述二级运动平台运动导向机构装配于一级运动平台中；所述压电陶瓷驱动器包括一级运动平台压电陶瓷驱动器和二级运动平台压电陶瓷驱动器，所述一级运动平台压电陶瓷驱动器和所述二级运动平台压电陶瓷驱动器分别驱动所述一级运动平台和所述二级运动平台。 | ||
| 搜索关键词： | 两级 压电 驱动 定位 平台 | ||
【主权项】：
两级压电驱动微纳定位平台，其特征在于：包括基座、一级运动平台、一级运动平台柔顺机构、二级运动平台、二级运动平台运动导向机构和压电陶瓷驱动器；所述一级运动平台通过所述一级运动平台柔顺机构装配于所述基座中，所述一级运动平台柔顺机构包括一级运动平台位移放大机构和一级运动平台运动导向机构；所述二级运动平台通过所述二级运动平台运动导向机构装配于一级运动平台中；所述压电陶瓷驱动器包括一级运动平台压电陶瓷驱动器和二级运动平台压电陶瓷驱动器，所述一级运动平台压电陶瓷驱动器和所述二级运动平台压电陶瓷驱动器分别驱动所述一级运动平台和所述二级运动平台。
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