[发明专利]蒸镀用的复合掩模板有效
申请号: | 201711091790.9 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN107653437B | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 范硕 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰;阳志全 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种蒸镀用的复合掩模板,包括底座、栅格结构和掩膜板,栅格结构为多条相互垂直的第一筋条和第二筋条,底座中部开设有蒸镀孔,其顶面开设有连通蒸镀孔的安装槽,栅格结构悬于蒸镀孔内且四周搭接于安装槽内,栅格结构上表面与底座顶面平齐;掩膜板包括多个间隔的镂空图案区域和与镂空图案区域相邻的空白区域,掩膜板搭接在底座上,第一筋条和第二筋条在掩膜板上的投影位于空白区域内。由于网状的栅格结构悬于蒸镀孔内且四周搭接并固定于安装槽内,栅格结构的上表面与底座顶面平齐,掩膜板搭接在底座上,且栅格结构在掩膜板上的投影并不遮挡镂空蒸镀通道,既保证了蒸镀的顺利进行,又保证了掩模板的平整度,也方便掩膜板的清洗。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀用 复合 模板 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀用的复合掩模板,其特征在于,包括底座(10)、栅格结构(20)和掩膜板(30),所述栅格结构(20)为多条相互垂直的第一筋条(21)和第二筋条(22)形成的网状结构,所述底座(10)为中部开设有蒸镀孔(100)的环状板,所述底座(10)的顶面还开设有连通所述蒸镀孔(100)的安装槽(110),所述栅格结构(20)可拆卸地悬于所述蒸镀孔(100)内且四周搭接并固定于所述安装槽(110)内,且所述栅格结构(20)的上表面与所述顶面平齐;所述掩膜板(30)包括多个间隔的镂空图案区域(31)和与所述镂空图案区域(31)相邻的空白区域(32),所述掩膜板(30)搭接在所述底座(10)上,且所述第一筋条(21)和所述第二筋条(22)在所述掩膜板(30)上的投影位于所述空白区域(32)内。
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