[发明专利]坩埚及蒸镀方法在审
| 申请号： | 201711093595.X | 申请日： | 2017-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN107630190A | 公开（公告）日： | 2018-01-26 |
| 发明（设计）人： | 乔小平;李金川 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚，包括第一埚体和设于相对所述第一埚体内的第二埚体，所述第一埚体和所述第二埚体之间围合形成腔体结构，以使所述腔体横截面形成环形形状，所述腔体用于容纳蒸镀材料，所述第一埚体背对所述第二埚体的外壁面围设有第一加热部件，所述第二埚体背对所述第一埚体的内壁面围设有第二加热部件，所述坩埚还包括加热控制系统，所述加热控制系统控制所述第一加热部件和所述第二加热部件的加热时长不同，通过以上设置，使得本发明的坩埚不会发生变形或者破裂的问题。本发明还提供了一种坩埚蒸镀方法。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 方法 | ||
【主权项】：
一种坩埚，其特征在于，包括第一埚体和设于相对所述第一埚体内的第二埚体，所述第一埚体和所述第二埚体之间围合形成腔体结构，以使所述腔体横截面形成环形形状，所述腔体用于容纳蒸镀材料，所述第一埚体背对所述第二埚体的外壁面围设有第一加热部件，所述第二埚体背对所述第一埚体的内壁面围设有第二加热部件，所述坩埚还包括加热控制系统，所述加热控制系统控制所述第一加热部件和所述第二加热部件的加热时长不同。
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