[发明专利]一种理疗仪生产用晶圆清洗装置在审

专利信息
申请号: 201711093967.9 申请日: 2017-11-08
公开(公告)号: CN107731719A 公开(公告)日: 2018-02-23
发明(设计)人: 林孝振 申请(专利权)人: 林孝振
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 350011 福建省福州市*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及理疗设备技术领域,且公开了一种理疗仪生产用晶圆清洗装置,包括底座,底座上表面的两端均固定连接有支撑腿,底座上表面的中部固定连接有电机,电机的输出轴固定连接有转轴,转轴靠近电机一端的表面固定连接有转盘,转盘的外侧固定连接有旋转杆,旋转杆的顶端固定连接有清洗槽。该理疗仪生产用晶圆清洗装置,通过设置电机、转轴、转盘和搅拌杆,利用电机带动转轴上的搅拌杆和清洁刷旋转,利用搅拌桨上的毛刷和搅拌叶之间的相互配合搅拌,加快了晶圆的翻转速率,保证了对晶圆进行全面清洗,清洁刷的转动,有利于清除晶圆表面的杂质,降低了工人的劳动强度,达到了对晶圆表面彻底清洗的目的,提高了理疗仪芯片的生产质量。
搜索关键词: 一种 理疗仪 生产 用晶圆 清洗 装置
【主权项】:
一种理疗仪生产用晶圆清洗装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上表面的两端均固定连接有支撑腿(2),所述底座(1)上表面的中部固定连接有电机(3),所述电机(3)的输出轴固定连接有转轴(4),所述转轴(4)靠近电机(3)一端的表面固定连接有转盘(5),所述转盘(5)的外侧固定连接有旋转杆(6),所述旋转杆(6)的顶端固定连接有清洗槽(7),所述转轴(4)的表面固定连接有位于清洗槽(7)内部的连接杆(8),所述连接杆(8)的一端固定连接有清洁刷(9),所述转轴(4)的表面固定连接有搅拌杆(10),所述搅拌杆(10)的顶部固定连接有搅拌桨(11),所述搅拌杆(10)的表面固定连接有搅拌叶(12),所述清洗槽(7)的顶部通过支撑杆固定连接有超声波装置(13),所述超声波装置(13)包括超声波发生器(131),所述超声波发生器(131)的输出端固定连接有超声波转换器(132),所述超声波转换器(132)的输出端固定连接有超声波振子(133)。
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