[发明专利]一种理疗仪生产用晶圆清洗装置在审
申请号: | 201711093967.9 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN107731719A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 林孝振 | 申请(专利权)人: | 林孝振 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 350011 福建省福州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明涉及理疗设备技术领域,且公开了一种理疗仪生产用晶圆清洗装置,包括底座,底座上表面的两端均固定连接有支撑腿,底座上表面的中部固定连接有电机,电机的输出轴固定连接有转轴,转轴靠近电机一端的表面固定连接有转盘,转盘的外侧固定连接有旋转杆,旋转杆的顶端固定连接有清洗槽。该理疗仪生产用晶圆清洗装置,通过设置电机、转轴、转盘和搅拌杆,利用电机带动转轴上的搅拌杆和清洁刷旋转,利用搅拌桨上的毛刷和搅拌叶之间的相互配合搅拌,加快了晶圆的翻转速率,保证了对晶圆进行全面清洗,清洁刷的转动,有利于清除晶圆表面的杂质,降低了工人的劳动强度,达到了对晶圆表面彻底清洗的目的,提高了理疗仪芯片的生产质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 理疗仪 生产 用晶圆 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种理疗仪生产用晶圆清洗装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)上表面的两端均固定连接有支撑腿(2),所述底座(1)上表面的中部固定连接有电机(3),所述电机(3)的输出轴固定连接有转轴(4),所述转轴(4)靠近电机(3)一端的表面固定连接有转盘(5),所述转盘(5)的外侧固定连接有旋转杆(6),所述旋转杆(6)的顶端固定连接有清洗槽(7),所述转轴(4)的表面固定连接有位于清洗槽(7)内部的连接杆(8),所述连接杆(8)的一端固定连接有清洁刷(9),所述转轴(4)的表面固定连接有搅拌杆(10),所述搅拌杆(10)的顶部固定连接有搅拌桨(11),所述搅拌杆(10)的表面固定连接有搅拌叶(12),所述清洗槽(7)的顶部通过支撑杆固定连接有超声波装置(13),所述超声波装置(13)包括超声波发生器(131),所述超声波发生器(131)的输出端固定连接有超声波转换器(132),所述超声波转换器(132)的输出端固定连接有超声波振子(133)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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