[发明专利]基于影响矩阵瑞奇‑康芒检验的局部采样面形恢复方法

摘要

本发明公开了一种基于影响矩阵瑞奇‑康芒检验的局部采样面形恢复方法，首先用干涉仪按照影响矩阵瑞奇‑康芒检验的原理，在不同瑞奇角下得到两幅椭圆形压缩图样。按像素点为单位，对两幅椭圆图样中的对应点，根据其对应被检平面镜相应点实际入射角大小建立两组影响矩阵方程，而不近似使用瑞奇角。将两组影响矩阵方程组合，用最小二乘法求解得到该点Zernike系数，从而恢复该点面形数据。将该过程遍历整个被检平面镜，对被检平面镜的每个点执行上述处理，然后将各点面形数据结果综合，得到被检平面镜恢复后的面形。

主权项

一种基于影响矩阵瑞奇‑康芒检验的局部采样面形恢复方法，其特征在于：步骤一：按照影响矩阵瑞奇‑康芒检验的原理，用干涉仪在不同瑞奇角下得到两幅椭圆形压缩图样；步骤二：按像素点为单位，对两幅椭圆形压缩图样中的对应点，根据上述的对应点对应被检平面镜相应点实际入射角大小建立两组影响矩阵方程，而不近似使用瑞奇角；步骤三：将两组影响矩阵方程组合，用最小二乘法求解得到该点Zernike系数，从而恢复该点面形数据；步骤四：将该过程遍历整个被检平面镜，对被检平面镜的每个点执行上述处理，然后将各点面形数据结果综合，得到被检平面镜恢复后的面形。