[发明专利]一种针对单个纳米颗粒的检测方法有效

专利信息
申请号: 201711099225.7 申请日: 2017-11-09
公开(公告)号: CN108051362B 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 江丽雯;路鑫超;孙旭晴;刘虹遥;熊伟;谌雅琴;张朝前 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G01N15/14 分类号: G01N15/14
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明涉及一种针对单个纳米颗粒的检测方法,所述检测方法包括如下步骤:在盖玻片上附着单个纳米颗粒;光源发出的光经过扩束整形后,聚焦到油浸物镜的后焦平面;调节入射光在所述油浸物镜的后焦平面上的位置,使入射光斜入射到所述盖玻片上,在所述盖玻片表面产生沿表面传播、强度在竖直方向上呈指数衰减的倏逝波;所述倏逝波遇到所述单个纳米颗粒发生散射,沿所述盖玻片表面传播产生径向界面散射;通过CCD收集所述界面散射的信号和所述盖玻片上的反射光,并通过所述CCD对所述单个纳米颗粒进行成像。本发明成本低、检测性能稳定、检测速度快、灵敏度高、可用于原位与便携式检测、可扩展到病毒检测、大气中纳米污染物等应用中。
搜索关键词: 一种 针对 单个 纳米 颗粒 检测 方法
【主权项】:
1.一种针对单个纳米颗粒的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括如下步骤:在盖玻片上附着单个纳米颗粒;光源发出的光经过扩束整形后聚焦到油浸物镜的后焦平面;调节入射光在所述油浸物镜的后焦平面上的位置,使入射光斜入射到所述盖玻片上,在所述盖玻片表面产生沿表面传播、强度在竖直方向上呈指数衰减的倏逝波;所述倏逝波遇到所述单个纳米颗粒发生散射,其中一部分散射到空间中呈立体角分布,另一部分沿所述盖玻片表面传播产生径向界面散射;通过CCD收集所述界面散射的信号和所述盖玻片上的反射光,并通过所述CCD对所述单个纳米颗粒进行成像。
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