[发明专利]一种基于石墨烯和光栅复合结构的太赫兹调制器

摘要

本发明提供一种基于石墨烯和光栅复合结构的太赫兹调制器，和电源连接，用于对太赫兹波进行调制，包括由下而上依次设置的下绝缘介质层、石墨烯薄膜层、上绝缘介质层以及光栅层，其中，光栅层为具有亚波长周期的光栅，石墨烯薄膜层为单层石墨烯，石墨烯薄膜层上设置有至少一个电极，电极和亚波长光栅分别与电源导电连接；还包括反射层以及衬底层，其中，反射层以及衬底层自上至下依次设置在下绝缘介质层的底部。本发明中下绝缘介质层和上绝缘介质层组成F‑P谐振腔，F‑P效应在谐振频点上加强了光子模式局域电场与石墨烯的相互作用，实现在快速调制的同时也能达到较大的调制深度；反射层增强了反射率，使得调制器具有更好的调制效果。

主权项

一种基于石墨烯和光栅复合结构的太赫兹调制器，和电源连接，用于对太赫兹波进行调制，其特征在于，包括由下而上依次设置的下绝缘介质层、石墨烯薄膜层、上绝缘介质层以及光栅层，其中，所述光栅层为具有亚波长周期的光栅，用于对所述太赫兹波进行耦合，所述石墨烯薄膜层为单层石墨烯，用于对所述太赫兹波进行吸收，所述石墨烯薄膜层上设置有至少一个电极，所述电极和所述光栅分别与所述电源导电连接。