[发明专利]真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法有效
| 申请号： | 201711103957.9 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108708863B | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 大立好伸;前岛靖;高阿田勉 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/26;F04D29/40 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;刘林华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空泵、真空泵的旋转体和静翼及其制造方法，其适合避免如控制旋转体的驱动的电装部件那样的无需高温化的部分的高温化，高效地使例如螺纹槽泵定子那样在真空泵中需要高温化的部分高温化，从而减少反应生成物的堆积。旋转体（4）具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体（4A）与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体（4B），构成为在第2圆筒体（4B）的外周面上以多级配置有多个动翼（6），由第1圆筒体（4A）的内表面（S1）与第2圆筒体（4B）的内表面（S2）构成的圆筒内表面的至少一部分以及第1圆筒体（4A）的外表面（Q1）构成为放射率比动翼（6）的外表面小的低放射率部。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 旋转体 和静 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种真空泵，其利用旋转体的旋转对气体进行吸气及排气，上述真空泵的特征在于，上述旋转体具备构成螺纹槽泵机构部的第1圆筒体与构成涡轮分子泵机构部的第2圆筒体，在上述第2圆筒体的外周面以多级配置有多个动翼，由上述第1圆筒体的内表面与上述第2圆筒体的内表面构成的圆筒内表面的至少一部分、以及上述第1圆筒体的外表面构成为放射率比上述动翼的外表面小的低放射率部。
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