[发明专利]一种动态形变可控微镜有效
| 申请号： | 201711104537.2 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN108152801B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 虞传庆;王鹏;陈文礼;王宏臣;孙丰沛;董珊 | 申请（专利权）人： | 无锡英菲感知技术有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481;G01S17/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;贾允 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种动态形变可控微镜，所述微镜包括：外镜，所述外镜具有第一结构；内镜，所述外镜具有第二结构；所述第一结构和第二结构相互分离，且通过具有第三结构的连接机构连接；所述第一结构，第二结构，第三结构是通过在晶圆表面上蚀刻具有第四结构的凹槽后形成的一体结构。基于内外镜面分离结构，可以有效地减小外镜面动态形变对内镜面的影响，从而将内镜面的动态形变降至最低。连接机构可以放置于外镜面动态形变较小处，从而有效减小动态形变的传递。该连接机构可以是多种不同的形状，拥有较大的设计自由度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 动态 形变 可控 | ||
【主权项】：
一种动态形变可控微镜，其特征在于，所述微镜包括：外镜(10)，所述外镜(10)具有第一结构；内镜(11)，所述外镜(12)具有第二结构；所述第一结构和第二结构相互分离，且通过具有第三结构的连接机构(12)连接；所述第一结构，第二结构，第三结构是通过在晶圆表面上蚀刻具有第四结构的凹槽后形成的一体结构。
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