[发明专利]用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针有效
| 申请号： | 201711111195.7 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107879309B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 宋杰;齐岱宗 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00;G01Q70/10;G01Q70/16 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王毓理;王锡麟 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于微纳尺度物质投送及提取的中空悬臂探针，中空悬臂探针，为扁立方体结构，由漏斗状的探针和管状的悬臂梁组成，其中：悬臂梁与探针内部中空且相连通以输送物质，即以悬臂梁的一端为始端、探针的针尖开口一端为末端，通过在始端施加正压或负压，实现从末端吸入或投送物质至试样表面。本发明以MEMS技术对传统悬臂梁与探针施以恰当改造，则可取得具有物质投送及提取功能的新结构，即将带有输送通道的悬臂梁与探针的组合结构“中空悬臂探针”。本发明通过与试样表面相吸引或排斥而反映出试样的表面形貌信息。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 尺度 物质 投送 提取 中空 悬臂 探针 | ||
【主权项】：
一种中空悬臂探针，其特征在于，为扁立方体结构，由漏斗状的探针和管状的悬臂梁组成，其中：悬臂梁与探针内部中空且相连通以输送物质。
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