[发明专利]一种光栅莫尔条纹信号误差检测和修正方法在审

专利信息
申请号: 201711111675.3 申请日: 2017-11-13
公开(公告)号: CN108151653A 公开(公告)日: 2018-06-12
发明(设计)人: 李彬华;任康桥;胡泊;王锦良 申请(专利权)人: 昆明理工大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02;G01B11/26
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 650093 云*** 国省代码: 云南;53
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摘要: 发明涉及一种光栅莫尔条纹信号误差检测和修正方法,属于光学精密测量技术领域。本发明包括步骤:首先将光栅输出的两个正交的正余弦信号经过处理器采样,得到光栅每移动一个栅距的莫尔条纹信号,表现为一个周期的正余弦信号,并建立数学模型,利用采集到的数据与模型参数的内在关系,求解实际信号当中的位置信息样本点幅值偏差系数、直流分量、相位偏差,实时查看信号质量是否符合细分要求,如果不满足,则对上述误差进行实时补偿,得到修正后的莫尔条纹信号。本发明用于需要高质量莫尔条纹信号的场合,如圆光栅测角系统,本发明可以提供满足高倍数细分要求的莫尔条纹信号,并提高光栅测量系统的精度和分辨率。
搜索关键词: 莫尔条纹信号 光栅 正余弦信号 误差检测 修正 圆光栅测角系统 光学精密测量 光栅测量系统 幅值偏差 模型参数 内在关系 实时补偿 实时查看 数学模型 相位偏差 直流分量 样本点 正交的 分辨率 采样 求解 处理器 栅距 采集 输出 移动 表现
【主权项】:
一种光栅莫尔条纹信号误差检测和修正方法,其特征在于:首先将光栅输出的两个正交的正余弦信号经过处理器采样,得到光栅每移动一个栅距的莫尔条纹信号,表现为一个周期的正余弦信号,并建立数学模型,利用采集到的数据与模型参数的内在关系,求解实际信号当中的位置信息样本点幅值偏差系数、直流分量、相位偏差,实时查看信号质量是否符合细分要求,如果不满足,则对上述误差进行实时补偿,得到修正后的莫尔条纹信号。
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