[发明专利]一种用于多晶金刚线切硅片表面处理的酸性制绒添加剂及其使用方法在审
| 申请号： | 201711111997.8 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN108103584A | 公开（公告）日： | 2018-06-01 |
| 发明（设计）人： | 姜翰钦;吴金丹;周小国 | 申请（专利权）人： | 德清丽晶能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江英普律师事务所 33238 | 代理人： | 王晓雯 |
| 地址： | 312300 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多晶金刚线切硅片表面处理用的酸性制绒添加剂，其以重量百分比计包含以下组分：草酸0.5‑5%，N‑甲基吡咯烷酮1‑10%，含N聚合物0.1‑3%，余量为水。本发明还公开了一种用于多晶金刚线切硅片表面处理用的酸性制绒剂，其包含了上述酸性制绒添加剂和酸性溶液，其中所述的酸性溶液为氢氟酸和硝酸的去离子水溶液，其中氢氟酸的重量百分比为5‑10%，硝酸的重量百分比为20‑60%。其还包含了一种用于多晶金刚线切硅片表面处理的方法。本发明所公开的添加剂无毒无刺激，无腐蚀性，可降低无机酸的用量，减少环境负担；而且采用本发明所述的添加剂及使用方法后处理得到的多晶金刚线切硅片均匀性好，绒面尺寸细小均匀，反射率低。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚线 多晶 硅片表面处理 制绒添加剂 重量百分比 酸性溶液 硝酸 氢氟酸 添加剂 甲基吡咯烷酮 草酸 离子水溶液 酸性制绒剂 后处理 环境负担 均匀性好 聚合物 反射率 无机酸 硅片 绒面 无毒 刺激 | ||
【主权项】：
1.一种用于多晶金刚线切硅片表面处理用的酸性制绒添加剂，其特征在于以重量百分比计包含以下组分：草酸 0.5-5%，N-甲基吡咯烷酮 1-10%，含N聚合物 0.1-3%，余量为水。
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